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靶材濺射完后半邊中毒發烏問題分析
瀏覽量:251 上傳更新:2018-11-08

    原因分析1:可能與射頻電源的引入有關

  原因分析2:這么小的靶,兩英寸?冷卻均勻么

  原因分析3:這么小的靶還加300W的功率,冷卻跟得上嗎?懷疑是冷卻不好,造成半邊發烏!

  原因分析4:冷卻不夠。溫度太高了吧

  原因分析5:可能跟功率過高有關,我直徑60的靶功率只敢加到100W左右

  原因分析6:兩小時中電源穩定嗎?可能是能量太高,也可能是靶的一邊碰到接地的部件了

  原因分析7:疑似氣密性有問題,個人認為

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