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濺射靶材的應用領域
瀏覽量:257 上傳更新:2018-11-08

      信息存儲產業:隨著IT 產業的不斷發展,世界對記錄介質的需 求量越來越大,記錄介質用靶材研究與生產成為一大熱點。在信息存儲產業中,使用濺射靶材制備的 相關薄膜產品有硬盤、磁頭、光盤等。制造這些數據 存儲產品,需要使用具有特殊結晶性與特殊成分的高品質靶材,常用的有鈷、鉻、碳、鎳、鐵、貴金屬、稀 有金屬、介質材料等。

  集成電路產業:集成電路用靶材在全球靶材市場占較大份額, 其濺射產品主要包括電極互連線膜、阻擋層薄膜、接觸薄膜、光盤掩膜、電容器電極膜、電阻薄膜等。其中薄膜電阻器是薄膜混合集成電路中用量最多的元 件,而電阻薄膜用靶材中Ni - Cr 合金的用量很大。

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