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合金靶材濺射靶材使用指南及注意事項
瀏覽量:272 上傳更新:2018-11-08
      保持真空腔體尤其是濺射系統潔凈是非常重要的。任何由潤滑油和灰塵以及前期鍍膜所形成的殘留物會收集水氣及其他污染物,直接影響真空度獲得和增加成膜失敗的可能性。短路或靶材起弧,成膜表面粗糙及化學雜質含量超標經常是由于不潔凈的濺射室、濺射槍和靶材引起的。  為保持鍍膜的成分特性,濺射氣體(氬氣或氧氣)必須清潔并干燥,濺鍍腔內裝入基材后便需將空氣抽出,達到工藝所要求的真空度。  暗區屏蔽罩,腔體壁及鄰近表面也需要保持潔凈。在清洗真空腔體時我們建議采用玻璃球拋丸法處理有污垢的部件同時用壓縮空氣清除腔體四周前期濺射剩余物,再用氧化鋁浸漬過的沙紙輕輕的對表面進行拋光。紗紙拋光后, 再用酒精,丙酮和去離子水清洗,同時建議使用工業吸塵器進行輔助清潔。  高展金屬生產的靶材采用真空密封塑料袋包裝, 內置防潮劑。
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